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Plasma Surface Treatment System

Pluto等離子清洗機 合作伙伴

清華大學 Pluto-T

應用：玻璃樣品的有機物清洗
電子科技大學 Pluto-MD

應用：晶元表面光刻膠的去除
上海交通大學 Pluto-MC

應用：等離子表面涂覆鍍膜
復旦大學 Pluto-30

應用：氣體化學反應
浙江大學 Pluto-T

應用：硅片的表面改性

Classic case

應用案例

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News information

新聞資訊

等離子百科 2023-04-04
2.無輸出功率首先在射頻源的輸出接上50Ω的假負載，以此判斷是射頻源問題還是射頻源之后的故障。若是接上假負載以后功率指示為零，說明射頻源有問題，維修射頻源。若接上假負載后功率指示不為...

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等離子百科 2023-04-04
等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的物質。等離子清洗/刻蝕產生等離子體的真空等離子清洗機是在密封容器中設置兩個電極形成電磁場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀...

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2023-05

行業資訊

氧氣流向對等離子去膠的影響

光刻膠的去除在IC制造工藝流程中占非常重要的地位，其成本約占IC制造工藝的20-30%，光刻膠去膠效...
28

2023-04

行業資訊

等離子清洗機對PBO纖維表面改性接枝的影響

PBO纖維表面等離子體接枝處理接枝液常選用具有極性基團的烯類單體，其與樹脂基體具有較好的...
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2023-04

行業資訊

等離子清洗技術在金屬表面的應用

等離子體清洗技術低壓等離子體清洗需在真空腔中開展，因此可靠的真空系統是保障清洗效果的必要條...
13

2023-04

行業資訊

PP和PET材料的等離子清洗機表面改性

01絲素蛋白與材料的共價結合通過其與接枝于材料表面的聚丙烯酸的相互作用來實現。為此，必須首先...
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2023-03

行業資訊

小型等離子清洗機的結構

傳統的電容耦合式等離子清洗機結構，即內平行極板。系統由三大部分組成包括真空系統、放電系統和...

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